國科精密:高端光學從無到有,這支80後團隊靠信念
將光刻掩膜版與塗上光刻膠的晶圓片對準,用一定波長的紫外光經過光刻掩膜版照射晶圓片,使晶圓片上受光照的光刻膠的特性發生變化,即曝光。
高端IC製造光刻機曝光光學系統是光刻機的“心臟”,
“在此之前,高端光刻機曝光光學系統在全球只有兩家能做:蔡司和尼康,並且對我們技術封鎖。”在IC China 2017展會上,長春國科精密光學技術有限公司市場企劃部經理李佩玥博士說道,“我們是一支百餘名80後著名高校碩士、博士為主體、並富有強烈歷史使命感的研發團隊。高端光刻機曝光光學系統,
九年風雲集一鏡
2007年,長春光機所和上海光機所組建論證團隊,並啟動02專項“高端光刻機曝光光學系統”的專案論證工作;2009年,專案獲批啟動,高端光刻機曝光光學系統研發團隊開始承接02專項90nm光刻機曝光光學系統研製任務,
照明系統和物鏡系統是光刻機的重要組成部分,其性能的好壞對光刻成像品質起決定性作用。據悉,長春和上海的兩個團隊所共同負責的國產90nm ArF光刻機曝光光學系統已於2017年7月首次曝光成功,並於2017年10月24日通過了02專項組織的整機環境下的接受度測試,其最終曝光實測解析度達到了85nm的理想結果。
IC China2017展會中,觀眾參觀國科精密曝光光學系統
李佩玥博士認為,曝光光學系統最大的特點是“難”:“曝光光學系統是工程光學領域最複雜的光學系統,我國此前在此技術上積累幾近為零。研發過程涉及到光學加工、光學檢測、光學鍍膜、機械加工、機械檢測、結構裝調、精密控制等多個學科領域,
80後團隊的使命感
國科精密作為國家科技重大專項02專項支援的唯一高端光學技術研發單位元,正在承擔NA0.82、NA1.35等多種類型高端IC製造投影光刻機曝光光學系統的技術研發及產業化推進工作。
其團隊主體由百餘名“80後”985高校碩士、博士等高端技術人員組成,堅持九年只為解決我國積體電路裝備領域曝光光學系統的有無問題,用李佩玥博士的話說,“我們靠的是情懷!是信念!是我們的歷史使命感!”
“在此之前,國內在曝光光學系統方面的積累幾近為零,我們就是從零起步,從2007年組建論證團隊到2016年首套物鏡系統交付,我們用了整整九年!” 李佩玥感歎,“解決國家戰略需求!正是這種信念將我們的團隊聚在一起,攻堅克難,勇往直前。”
從無到有,國科精密已經實現了“0”的突破,雖然目前仍與國際一流水準存在一定差距,但這樣一支充滿使命感的團隊將會繼續朝著新的目標前進。李佩玥博士表示,“21世紀是光的世紀,我們已經掌握了核心的高端光學技術,未來市場的大門已經向我們敞開,相信我們的技術能夠做到真正意義上的“為國所用、為民所用”。希望未來能夠與各行業的用戶一起,共同開拓國際化高端光學細分市場!”
其團隊主體由百餘名“80後”985高校碩士、博士等高端技術人員組成,堅持九年只為解決我國積體電路裝備領域曝光光學系統的有無問題,用李佩玥博士的話說,“我們靠的是情懷!是信念!是我們的歷史使命感!”
“在此之前,國內在曝光光學系統方面的積累幾近為零,我們就是從零起步,從2007年組建論證團隊到2016年首套物鏡系統交付,我們用了整整九年!” 李佩玥感歎,“解決國家戰略需求!正是這種信念將我們的團隊聚在一起,攻堅克難,勇往直前。”
從無到有,國科精密已經實現了“0”的突破,雖然目前仍與國際一流水準存在一定差距,但這樣一支充滿使命感的團隊將會繼續朝著新的目標前進。李佩玥博士表示,“21世紀是光的世紀,我們已經掌握了核心的高端光學技術,未來市場的大門已經向我們敞開,相信我們的技術能夠做到真正意義上的“為國所用、為民所用”。希望未來能夠與各行業的用戶一起,共同開拓國際化高端光學細分市場!”