容柵位移感測器是一種常用感測器產品類型, 具有性能穩定、使用靈活、可靠性高、維護簡便等優點, 在多個行業中都有一定的應用。
容柵位移感測器工作原理
容柵位移感測器是基於變面積工作原理的電容感測器, 其電極的排列如同柵狀, 相當於多個變面積型電容感測器的並聯。 定極板為兩組等間隔交叉的極柵, 動極板的極距相同且柵寬相同。 動極板相對於定極板移動時, 機械位移量轉變為電容值的變化, 通過電路轉化得到電信號的相應變化量。
以電容器為敏感元件, 將機械位移量轉換為電容量變化, 可進行位移的測量。 平行板電容器的電容與極板面積成正比, 與極板間距成反比。 由一個固定極板和一個可移動極板,
物理實驗中使用的一種電子數顯尺, 就是採用的多級片型容柵作為感測器, 動尺的多組柵片並聯是為了提高測量精度及降低對感測器製造精度的要求。 動極板在移動的過程中, 始終與不同的小電極組成差動電容器。 動尺相對於定尺移動時, 電容週期變化, 產生的脈衝信號通過電路轉化放大及晶片計算得到位移值的變化, 並顯示出來。