設備基礎， 設備基礎對安裝精度的影響主要是強度不夠、沉降不均勻和抗振性能不足。 設備安裝調整檢驗合格後， 基礎強度若不夠， 或繼續沉降， 安裝偏差會發生變化， 影響設備安裝精度。 因此， 設備安裝應在強度符合要求後進行， 找正調平應在沉降觀測確定基礎穩定後進行， 或在基礎穩定後作最終調整。
墊鐵和一、二次灌漿， 設備支承和墊鐵和二次灌漿層上。 當墊鐵不平穩、接觸不好， 一次、二次灌漿不密實， 強度不夠時， 會影響設備安裝精度。 因此， 墊鐵應平齊， 無毛刺， 墊鐵和基礎、墊鐵之間、墊鐵和設備之間接觸應良好，
地腳螺栓，
地腳螺栓應安裝垂直，
防止在澆灌混凝土時產生偏移。
地腳螺栓應按要求緊固，
設計有緊固要求的應使用定扭距扳手，
或液壓螺栓拉伸器緊固，
保證預緊值。