據麥姆斯諮詢報導， 弗勞恩霍夫可靠性和微集成研究所（The Fraunhofer Institute for Reliability and Microintegration IZM）近日設計開發出一款高壓絕緣體上矽（SOI）感測器， 能夠監測溫度高達400°C的工業過程， 如塑膠擠出等。
這款感測器被封裝在一層二氧化矽中， 以實現完全的電絕緣性。 其上部的矽覆蓋層中包含了獨立的壓敏電阻。
這款感測器在德國柏林工業大學的技術支持下合作完成， 基於SOI技術， 而無需傳統感測器所需要的任何油或其它液體。 因此， 不會因為液體受溫度影響而影響感測器的輸入。 由於無需昂貴且複雜的填充技術， 這款SOI感測器降低了系統對環境的影響， 未來許多產品預計都會禁用油或水銀等液體， 因此， 這款感測器將逐漸成為這些產品未來真正有效的替代解決方案。
為了避免環境影響， 這款SOI晶片採用無膠陶瓷封裝， 貼附在連接鋼瓶的鋼膜上。 這款感測器巧妙地安裝在一種“懸浮”設計中：它懸浮在電觸點之間的殼體中，
弗勞恩霍夫可靠性和微集成研究所預計未來的高壓感測器能夠在600°C及以上的溫度下運行， 不過那時或將需要替代矽材料， 因為當溫度超過400°C以後矽逐漸便能實現自傳導。
碳化矽（Silicon carbide）或能成為理想的替代材料， 因為它即使是在極端溫度下也能保持更好的電學特性。
延伸閱讀：
《中國壓力感測器行業市場-2016版》
《2016-2020年全球工業感測器市場》
《絕緣體上矽（SOI）市場-2017版》