微訪談：Nanusens首席執行官Josep Montanya i Silvestre
麥姆斯諮詢 編譯
據麥姆斯諮詢報導， NANUSENS的NEMS（Nano Electro Mechanical Systems）感測器採用標準的CMOS工藝和掩膜技術製造而成。 在NANUSENS的工藝中， 使用HF蒸汽（vHF）通過鈍化層中的焊盤開口蝕刻金屬層間介電質（IMD）， 以獲得納米感測器的傳感結構。 然後將孔洞密封， 根據需要對晶片進行封裝。 由於該感測器僅採用了標準的CMOS工藝， 並且能夠直接和所需要的有源電路集成， 因此， 這款感測器能夠獲得和CMOS器件一樣的高良率。
Nanusens稱， 它們的解決方案將感測器設計尺寸降低了一個數量級， 從MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）器件1~2um的線性特徵尺寸降低到NEMS的0.3um。 這使器件微結構的表面積從兩個維度上降低了接近兩個數量級，
Q：你們正在研究什麼技術？為什麼選擇這個技術方案？
Josep Montanya i Silvestre：我們正在開發慣性感測器。 我們的技術可以採用CMOS工藝生產許多不同類型的NEMS器件。 我們之所以選擇從慣性感測器開始， 主要出於兩個原因。 首先， 是因為基於之前Baolab Microsystems 的研究成果， 以及後來在UPC（加泰羅尼亞理工大學）進行的慣性感測器研究， 我們在這些研究工作的基礎上進行了繼續開發。 另一個原因， 是我們認識到如果我們能夠提供客戶一直所追求的——低成本或高性能， 這將會是一個很好的商機。 目前， 我們正在朝著這兩個方向開發。
Nanusens開發的NEMS運動感測器
Q：能否詳細介紹一下你們的技術起源？
Josep Montanya i Silvestre：我們的技術源自Boalab Microsystems在過去10多年裡的研究積累。 該公司在2014年因為某些戰略決策問題而倒閉了。 核心員工團隊後來創立了Nanusens。
Nanusens公司的CMOS NEMS製造工藝
Q：請介紹一下你們目前的融資情況？
Josep Montanya i Silvestre：Nanusens目前已經完成融資210萬美元， 來自Barcelona （巴賽隆納）的Inveready和Caixa Capital Risc領投， 跟投方包括來自荷蘭的Dieco Capital。
如我剛才所述， Nanusens受益於此前Baolab Microsystems的所有研究成果， Baolab Microsystems在倒閉前已經融資1200萬美元。
Q：你們目前面臨的主要挑戰有哪些？
Josep Montanya i Silvestre：我們的主要挑戰是按照融資要求完成產品開發， 快速地開拓市場。 我們目前的投資方給予了全力支持， 完成了新一輪融資。 不過， 它們是種子輪融資， 因此， 在投資額方面有很多限制。 我們已經按照融資要求， 將首款產品推向了市場。 我們目前正在尋求新的投資， 以加速這款產品及其它新產品的開發， 以避免潛在的機遇延誤。
Q：你們的公司願景是什麼？未來5~10年將如何發展？
Josep Montanya i Silvestre：我們公司的願景是為多種MEMS感測器創建新的標準。 它們需要從MEMS轉向NEMS，
Q：你們今年的產品規劃是？2018年的主要里程碑包括？
Josep Montanya i Silvestre：2018年首要實現的里程碑是將我們的首款慣性感測器產品完成上市， 預計將於2018年第二季度進行。 除此之外， 我們計畫在2017年末或2018年初完成新一輪融資， 幫助我們進一步加快開發， 降低延誤市場機遇的風險。
Q：你們現在在尋求產業合作夥伴嗎？如果是， 你們需要哪些類型的合作夥伴？
Josep Montanya i Silvestre：我們是一家Fabless半導體企業， 我們的供應鏈很清晰， 從GLOBAL FOUNDRIES（格羅方德）開始， 它們提供CMOS晶圓代工服務， 最後是來自中國的EDOM等分銷商， 它們都是頂級的合作夥伴。
不僅如此，雖然我們的技術已經擁有許多用戶案例和應用，我們仍將繼續開拓合作夥伴，與其它希望利用我們技術解決特定應用的半導體公司合作，或者進行戰略投資，或者建立聯合開發合作關係。我們採用CMOS工藝製造的納米感測器，可以嵌入所有的CMOS IC。這將帶來更多可能，而這不是我們能夠單獨完成的。
延伸閱讀：
《MEMS產業現狀-2017版》
《汽車MEMS和感測器市場及技術趨勢-2017版》
推薦培訓：
《MEMS高級培訓課程》將於2017年10月20~22日在上海微系統所舉辦，主要講授MEMS成熟器件（如加速度計、MEMS麥克風、壓力感測器、陀螺儀、紅外感測器）和前沿器件（如微流控晶片、生物感測器、電化學感測器）的設計、製造、封測和應用知識，同時對MEMS製造工藝的特殊性、重點難點和解決方案進行深入的講解，最後還將帶領學員實地參觀上海微系統所的微系統技術加工服務平臺。詳情及報名，請發郵件：guolei@memsconsulting.com。
它們都是頂級的合作夥伴。不僅如此，雖然我們的技術已經擁有許多用戶案例和應用，我們仍將繼續開拓合作夥伴，與其它希望利用我們技術解決特定應用的半導體公司合作，或者進行戰略投資，或者建立聯合開發合作關係。我們採用CMOS工藝製造的納米感測器，可以嵌入所有的CMOS IC。這將帶來更多可能，而這不是我們能夠單獨完成的。
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