中青線上訊4月18日, 中國青年報·中青線上記者從北京化工大學、江蘇博硯科技有限公司聯合召開的國家重點研發與產業化項目推進會上獲悉, 我國微電子加工用高端超純化學品關鍵技術取得重大突破, 並已在宜興建成國內首條年產1000噸黑色光阻示範生產線。 這意味著, 長期受國外壟斷的微電子材料開始走向國產化, 並為我國微電子及相關產業走出依賴“困境”起到了重要的引領作用。
微電子產業是我國國民經濟的支柱產業, 也是重點發展的戰略性新興產業。 但是, 在這個領域的核心技術、關鍵裝備與材料是我國產業的短板,
北京化工大學理學院院長聶俊介紹, 該校主持承擔的“微電子加工用高端超純化學品”是國家重點研發與產業化項目, 自去年啟動以來, 通過產學研合作, 突破了微電子加工用高端電子化學品超純化處理技術瓶頸, 實現微電子加工用高感度光引發劑和弱鹼顯影樹脂的結構設計及超純化規模製備, 並將在國內建成超純三甲基鋁(7N級)、納米色漿、光阻材料生產線、建立光阻材料的性能評價平臺,
北京化工大學黨委書記王芳認為, 事實證明, 核心技術買不來, 只有靠自己, 中國特色的產學研道路才能將打破壟斷、掌握核心技術做成功。 微電子加工用高端超純化學品專案, 能夠快速在關鍵技術上實現突破與量產, 就是一個成功的範例。
責編:張曼玉