（1）線上二座標測量機測量頭位移感測器的故障診斷 二座標測量機是一種廣泛應用於發動機、變速箱的軸類零件生產現場的高精度、高柔性、高效率的尺寸和形位元綜合線上檢測設備， 有一次我廠用於檢測變速箱一軸的一台線上二座標測量機在正常工作中Y軸出現間歇性的撞斷測量頭測針的故障現象， 我們採用位移感測器維修診斷裝置很快查出了故障原因並進行了針對性維修調整， 及時恢復了設備功能， 圖1就是位移感測器維修診斷裝置檢查線上二座標感測器故障時的安裝圖片。
診斷裝置檢查線上二座標感測器故障安裝
該檢測設備的精度要求是：Y軸測量頭的靈敏度應該是觸頭移動0.001mm， 設備的介面上顯示為0.080mm， 微距離防撞開關觸發距離為（0.50±0.02）mm， 感測器防護的有效性要分別從4個微距離電位開關進行檢查， 靠普通的檢查方法難以實現。
位移感測器診斷裝置檢查線上二座標測量機感測器故障過程示意圖如圖3所示， 將測量頭5從座標機導軌上取下， 其下麵墊上墊板1放置在小平臺底座2的上面， 調整位置使測量觸頭6與千分尺測量杆7的端面中心基本接觸， 測量頭5上的感測器電纜插接在其相應儀器上， 便於觀察示值變化， 將壓板導杆+螺母3安裝在小平臺底座2的T形槽內， 彈性壓板4套在壓板導杆+螺母3上， 選擇合適的位置接觸測量頭5， 用手向下按彈性壓板4完成壓緊。 旋轉千分尺微分筒8將數顯千分尺顯示的值與量儀上的值進行比較， 如此反復操作檢查重複性。 靈敏度的檢查按照設備的技術要求， 通過旋轉千分尺微分筒8， 使測量觸頭6移動幾個數值，
診斷裝置檢查線上二座標感測器故障過程
1.墊板 2.小平臺底座 3.壓板導杆+螺母 4.彈性壓板 5.測量頭
6.測量觸頭 7.千分尺測量杆 8.千分尺微分筒
檢查調整4個微距離開關則是將測量頭上的6針插接頭拔掉， 用萬用表轉換到電阻通斷擋， 表筆與插針接觸， 分別從4個不同的方向裝夾測量頭， 使測量頭測針上的紅寶石與千分尺處於臨界接觸， 旋轉千分尺上的微分筒， 觀察觸發信號及千分尺上的讀數， 按要求調整好防撞開關觸發距離。
經過診斷裝置檢查後發現：Y軸測量頭上的位移感測器的靈敏度偏低， Y軸測量頭內的4個微型微距離防撞開關靈敏度失效， 需要調整。
（2）曲軸連杆徑磨床主動量儀測頭感測器精度檢查診斷 主動測量是指在機械加工工程中自動完成對被加工零件有關參數的檢測， 並通過將測得的結果及時回饋到加工系統， 不斷地修正和控制加工狀態，
位移感測器診斷裝置檢查磨床主動量儀測頭感測器精度過程如圖4所示， 將MARPOSS測量頭3從設備上取下安放在測量頭或感測器固定架4上， 調整位置使測量觸頭6與千分尺測量杆7的端面中心基本接觸，測量頭3上的感測器電纜插接在其相應儀器上，便於觀察示值變化，將感測器固定架4通過螺釘+螺母2固定在底座1的上面，轉動鎖緊螺釘5固定測量頭3，旋轉千分尺微分筒8將數顯千分尺顯示的值與量儀上的值進行比較，如此反復操作檢查重複性。線性的檢查可以通過旋轉千分尺微分筒8，使測量、觸頭6移動一個數值，查看及比較線上二座標感測器測量頭所連接的儀器上顯示的數值及偏差，必要時可以通過旋轉千分尺微分筒8，直接讀出測量頭的測量量程及總機械行程；同時也可以利用主動量儀上的氣動推動或電磁鐵吸合的功能進行測量頭感測器重複性精度的檢查，差值及結果在量儀上讀取，然後與千分尺讀數進行比較。
診斷裝置檢查磨床主動量儀測頭感測器精度過程
1.底座 2.螺釘+螺母 3.測量頭 4.感測器固定架 5.鎖緊螺釘
6.測量觸頭 7.千分尺測量杆 8.千分尺微分筒
經使用診斷裝置類比量儀工作狀況保持測量觸頭與千分尺測量杆的端面接觸觀察設備中儀器上的示值變化，結果示值很穩定，證明了餘量分配器的測量頭感測器沒有問題，將我們檢測的結果回饋給現場設備維修，及時調整維修方向，最終查出是加工設備尾座內的液壓器件出現問題造成曲軸位移所致。
（3）線上檢測設備的筆形測頭感測器精度檢查診斷 筆形感測器是線上檢測設備中應用非常廣泛的一種測頭感測器，當線上檢測設備出現測量準確度問題時，首先要對筆形測頭感測器的線性、重複性進行檢查診斷。
利用診斷裝置檢查線上檢測設備筆形感測器精度過程如圖示，將筆形感測器1裝在安裝架2上，用鎖緊螺釘3固定感測器，調整其測量觸頭4與千分尺測量杆5的端面接觸，感測器1的電纜插接在其相應儀器上，便於觀察示值變化，旋轉微分筒6將數顯千分尺顯示的值與量儀上的值進行比較，如此反復操作檢查重複性，這種類型中具有氣動推動功能的感測器，則利用氣動推動的功能進行重複性精度的檢查；線性的檢查是通過旋轉千分尺微分筒6，使測量觸頭4移動多個數值，查看與比較線上二座標感測器所連接的儀器上顯示的數值及偏差，通過至少5個偏差值來評估感測器的線性是否符合精度要求。
診斷裝置檢查線上檢測設備筆形感測器精度過程
1.筆形感測器 2.安裝架 3.鎖緊螺釘
4.測量觸頭 5.千分尺測量杆 6.微分筒
需要說明的是位移感測器診斷裝置中所使用的數顯千分尺要定期進行檢定，以保證診斷裝置的準確性和可靠性。
調整位置使測量觸頭6與千分尺測量杆7的端面中心基本接觸，測量頭3上的感測器電纜插接在其相應儀器上，便於觀察示值變化，將感測器固定架4通過螺釘+螺母2固定在底座1的上面，轉動鎖緊螺釘5固定測量頭3，旋轉千分尺微分筒8將數顯千分尺顯示的值與量儀上的值進行比較，如此反復操作檢查重複性。線性的檢查可以通過旋轉千分尺微分筒8，使測量、觸頭6移動一個數值，查看及比較線上二座標感測器測量頭所連接的儀器上顯示的數值及偏差，必要時可以通過旋轉千分尺微分筒8，直接讀出測量頭的測量量程及總機械行程；同時也可以利用主動量儀上的氣動推動或電磁鐵吸合的功能進行測量頭感測器重複性精度的檢查，差值及結果在量儀上讀取，然後與千分尺讀數進行比較。診斷裝置檢查磨床主動量儀測頭感測器精度過程
1.底座 2.螺釘+螺母 3.測量頭 4.感測器固定架 5.鎖緊螺釘
6.測量觸頭 7.千分尺測量杆 8.千分尺微分筒
經使用診斷裝置類比量儀工作狀況保持測量觸頭與千分尺測量杆的端面接觸觀察設備中儀器上的示值變化，結果示值很穩定，證明了餘量分配器的測量頭感測器沒有問題，將我們檢測的結果回饋給現場設備維修，及時調整維修方向，最終查出是加工設備尾座內的液壓器件出現問題造成曲軸位移所致。
（3）線上檢測設備的筆形測頭感測器精度檢查診斷 筆形感測器是線上檢測設備中應用非常廣泛的一種測頭感測器，當線上檢測設備出現測量準確度問題時，首先要對筆形測頭感測器的線性、重複性進行檢查診斷。
利用診斷裝置檢查線上檢測設備筆形感測器精度過程如圖示，將筆形感測器1裝在安裝架2上，用鎖緊螺釘3固定感測器，調整其測量觸頭4與千分尺測量杆5的端面接觸，感測器1的電纜插接在其相應儀器上，便於觀察示值變化，旋轉微分筒6將數顯千分尺顯示的值與量儀上的值進行比較，如此反復操作檢查重複性，這種類型中具有氣動推動功能的感測器，則利用氣動推動的功能進行重複性精度的檢查；線性的檢查是通過旋轉千分尺微分筒6，使測量觸頭4移動多個數值，查看與比較線上二座標感測器所連接的儀器上顯示的數值及偏差，通過至少5個偏差值來評估感測器的線性是否符合精度要求。
診斷裝置檢查線上檢測設備筆形感測器精度過程
1.筆形感測器 2.安裝架 3.鎖緊螺釘
4.測量觸頭 5.千分尺測量杆 6.微分筒
需要說明的是位移感測器診斷裝置中所使用的數顯千分尺要定期進行檢定，以保證診斷裝置的準確性和可靠性。