一、濕式清洗
減壓清洗
在清洗槽內產生負壓, 由於減壓, 洗滌劑能較好地滲透到被清洗物和縫隙之間;和超聲波並用, 清洗效果會大大增強。
噴霧清洗
在清洗槽內安裝噴淋管, 在氣相中將清洗液噴灑在被清洗物上的清洗方式。 壓力可調 。
旋轉筒清洗
在清洗槽內安裝旋轉裝置, 同時旋轉筒體和攪拌被清洗物。 多與噴流、超聲波清洗組合使用。
搖動清洗
在清洗槽內安裝搖動機構, 裝入被清洗物, 使之在清洗槽內運動, 多與噴流、超聲波清洗組合使用。
一.真空加熱清洗
二.紫外線輻照清洗
三.放電清洗
四.氣體沖洗
氮氣在材料表面吸附時, 由於吸附能小, 因而吸留表面時間極短.即便吸附在器壁上, 也很容易被抽走。 利用氮氣的這種性質沖洗真空系統, 可以大大縮短系統的抽氣時間。 如真空鍍膜機在放入大氣之前, 先用乾燥氮氣充入真空室沖刷一下再充入大氣, 則下一抽氣迴圈的抽氣時間可縮短近一半, 其原因為氮分予的吸附能遠比水氣分子小, 在真空下充入氮氣後,
這種方法特別適用于大型超高不銹鋼真空系統的內部洗(去除碳氫化合物污染)。 通常對於某些大型超高真空系統的真空室和真空元件, 為了獲得原子態的清潔表面, 消除其表面污染的標準方法是化學清洗, 真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統等方法。 以上的清洗和除氣方法常用於真空系統安裝前及裝配期間。 在真空系統安裝後(或系統運行後),
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