解除“禁運”？ASML將向中國晶圓廠提供光刻機，售一億美元

歐界報導：

華為新一代麒麟970處理器已於今年9月25日在國內正式亮相， 其特別設計的HIAI移動計算架構， 首次集成專用的NPU， 以及歎為觀止的10nm晶片工藝技術， 無一不讓國人為之雀躍歡呼。 但讓人忽略地是， 其實長期以來我國半導體製造行業都在被外國所壓制， 技術封鎖使得中國的晶片製造商只能不停在全球搜尋新的代工廠。 就好比新鮮出爐的麒麟970， 其實就是由台積電企業代為加工。 目前我國晶片製造業的龍頭企業中芯國際,它的量產制程能力僅能達到28nm。 在晶片7nm製造工藝大戰爆發的前夕， 我國企業卻還在為沒有拿到“入場券”而歎息，

這未免不讓人感到唏噓。

但最近傳出的一則利好消息， 將有助於國內的光電技術行業打破目前這一僵局。

解除“禁運”， ASML有望在中國晶圓廠引進EUV光刻機

日前， 為全球晶片製造商提供EUV光刻機的ASML（阿斯麥）在接受台媒訪問時表示，

中國的半導體製造行業規模在逐年擴大， 預計將於2018-2019年迎來跳躍式的增長。 而ASML繼續深耕於中國， 也樂意為中國的晶片製造商們提供設備支援。 如果最終結果確認， 預計最快可於2019年在中國的晶圓廠裡看到EUV光刻機。

對於普通人來說， 光刻機或許是一個陌生的名詞，

但它卻是製造大型積體電路的核心裝備， 每顆晶片誕生之初， 其實都要經過“切身”的光刻工藝。 換句話來說， 光刻機就是把工程師的設計思路‘印入’基底材料， 目前製造光刻機的核心技術長期被荷蘭、日本、德國等把持。 但事實上中國的晶片製造商們要想量產7nm及其以下的工藝的晶片， 就必須引入EUV光刻機。

目前全球只有一家企業在光刻機市場上佔據了80%的份額， 就是處於荷蘭的ASML， 旗下所研發的EUV光刻機曾售價高達1億美元一台， 而且還不一定有貨。 皆因每台光刻機的裝配大約需要50000個零件左右， 預計ASML今年面向全球的產量僅為12台， 也就是1個月只能有1台出售給半導體廠商。 國際上著名的晶片製造商如Intel、台積電、三星都是它名下的股東。

而運用高端光刻機量產出來的晶片， 在同功耗情況下性能能夠提升15%， 但面積卻可以足足降低10%。

研發與量產是兩個不同的概念

嚴峻的市場無時無刻不在鞭策著中國的光電技術行業， 而我國也已經在半導體製造行業中開始暗暗發力， 去年由中科光電研究團隊承擔的課題“極紫外光刻原理實驗裝置機械與真空系統研製”在長春光機所順利完成驗收前現場測試。 該課程經過8年的技術攻關， 完成了從真空、輸片、工件台、減振到檢焦等關鍵單元技術， 這就意味著真正實現了5.8×10-7Torr穩定的高真空環境， 保證了EUV光源傳播的穩定性。

但是研發成功卻不等於可以馬上量產。 中國的半導體業技術水準至少要提前量產水準的兩代或以上， 然而要建造一條自主的晶片生產線， 還需要由市場、技術及人才等諸多因素而決定。

就好比現在一條7nm的晶片生產線， 月產能40， 000片大約需要投資近80億美元， 這對絕大多數的風投者來說， 都是一場不小的冒險。

技術和資本從來都是推動中國半導體行業發展的兩顆輪子， 但是從現階段來看，我國在技術的輪子上還明顯要加把火，以爭取早日跟上我國資本發展的腳步。

歐界科技 | Jie Media

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但是從現階段來看，我國在技術的輪子上還明顯要加把火，以爭取早日跟上我國資本發展的腳步。

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