中國證券網訊記者從中微半導體處獲悉， 中微半導體今天宣佈， 福建省高級人民法院同意了其針對維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司（簡稱Veeco上海）的禁令申請， 禁令立即生效執行， 不可上訴。 該禁令禁止Veeco上海進口、製造、向任何協力廠商銷售或許諾銷售侵犯中微半導體第CN202492576號專利的任何化學氣相沉澱裝置和用於該等裝置的基片託盤。
中微半導體於7月13日向福建省高級人民法院正式起訴Veeco上海專利侵權， 申請對Veeco上海發佈永久禁令， 並賠償中微半導體經濟損失1億元以上。 此前， Veeco上海向國家智慧財產權局專利複審委員會（簡稱專利複審委）提交專利無效宣告請求，
中微半導體表示， 其將於美國當地時間12月8日向美國專利商標局（USPTO）專利審判和上訴委員會（PTAB）遞交無效Veeco美國專利（US6726769）的請求。 該項關於可分離基片託盤技術的專利申請於2001年， 並被Veeco美國公司用於在美國起訴中微半導體的基片託盤供應商SGL專利侵權。 中微半導體認為， Veeco美國的涉案專利的技術早在60年代起就被大量前置專利明確地公開， 因此該起訴不符合專利法要求， 應屬無效。 除了在美國對該涉案專利提起專利無效請求， 中微半導體還對其中國和韓國的同族專利均提交了專利無效請求。